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        光學鍍膜機維護與保養

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        光學鍍膜機主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組及電柜(控制電柜、電子*電柜)組成,其廣泛應用于微電子、光學成膜、民用裝飾、表面工程等領域。


        振華光學鍍膜設備在防止油污染和縮短工作周期等方面具有**的性能。


        光學鍍膜設備工作原理是在高真空狀態下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度,材料受熱后蒸發成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發源至被蒸發基片距離大,蒸發出來的蒸汽分子向四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。


        光學鍍膜機維護與保養主要包換電子*安裝與維護、光路的檢修與維護、設備的清洗與保養。


        一、電子*安裝與維護


        電子*蒸發源控制系統是由電子*燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅動電源、蒸發源等組成一個電子*控制電柜。


        電子*控制電柜內含有高壓,在工作前必須保證柜門各個聯鎖裝置正常工作,非專業人員不得打開電柜門,電子*在工作時不得打開電柜門,整個電柜必須有良好的接地并與機臺接地連接。


        電子*蒸發源安裝在真空室底板上,必須與底板有良好的接地效果,安裝蒸發源必須使用不銹鋼螺絲來固定,周邊200mm以內不得有導磁的物體,否則會影響到電子*的光斑成表,造成電子性能的不良。電子*檔板應盡量裝在蒸發源坩堝的中心上30mm處,以不影響電子束的發射為好。


        電子*蒸發源是一個精密機械加工體,在工作時必須保證有良好的冷卻水,如過高的溫度會影響電子束的成型及各密封圈的性能。


        (一)電子*頭
        電子*的*頭安裝好壞直接影響到工作的正常進行,其發生的故障有90%同電子**頭有關。
        電子**頭有使用一段時間后,會因為組件的污染而影響電子束的成型及功率,需要拆卸清潔。


        (二)坩堝的維護
        拆坩堝之前,請先關掉水路用壓縮空氣把電子*冷卻管內的水分盡可能吹干凈。

        蒸發源裝卸順序:
        1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子**頭連接高壓線兩個螺絲。3.拆坩堝傳動連接座、聯軸器。4.擰落蒸發源四個固定螺絲。5.把蒸發源搬運到一個穩定平整的工作臺。6.拆落坩堝蓋板四個螺絲,取下蓋板打磨干凈。7.檢查蓋板上面兩個密封圈是否需要更換。8.把蒸發源反轉過來倒置,用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉動四個螺絲10.抬起蒸發源,取下坩堝 11.把坩堝倒置,擰下坩堝底蓋的八個螺絲,清洗干凈里面的污垢,檢查是否需要近密封圈。12.擰下導水管的一個螺絲13.擰下坩堝轉動機構與坩堝蓋板連接的四個螺絲 14.撥出坩堝轉動軸,檢查轉動軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過順序來進行。


        (三)導磁板及掃描圈的維護
        導磁板及永磁鐵是不需要經常拆卸維護,如需拆卸,請注意永磁鐵的極向,及導磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實,請不要使用硬尖的東西撬動,否則有可能會造成損壞。


        二、光路的檢修與維護


        光路調整的先決條件是:確保直流穩定電源、調制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉換放大器、光學膜厚儀及各專用電纜的完好和正確接入。特別是光電轉換放大器、光學膜厚測量儀的接地點,必須單獨歸至主機接點牢固接地。


        三、光學鍍膜機的清洗


        設備使用一個星期后(三班),因鍍料除鍍在工件表面 外,亦因無定向性而工作室 內的襯板上鍍料,并越鍍越厚,該層膜厚因組織、繞疏松,吸收大量氣體而造成真空鍍膜設備抽氣越來越慢。此時,應對工作室及襯板進行清洗,如不必要拆落來的部件,可用砂紙打磨干凈,襯板可浸泡在氫氟酸水溶液里,氫氟酸和水的比例看需要浸泡時間長短以及不傷襯板為原則。


        注:襯板必須烘干水份才能安裝,烘干前,襯板的水分盡量抹干,工作架等部件用砂紙清潔后,需要把真空室的所有灰塵清理干凈,此可用吸塵器吸干凈灰塵。**安裝襯板時,真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。


        因使用電子*及離子源輔助鍍膜,可能會造成清潔困難,可使用噴沙等方法來清潔。


        四、光學鍍膜機的保養


        (一)定期更換擴散泵油
        擴散泵油使用一段時間,約二個月(兩班),因在長期高溫環境,雖然較高真空時才啟動擴散泵,但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應,擴散泵油在高溫下也可能產生裂解,使其品質下降,而延長抽氣時間。在我們認為時間延長得太多時,應予更換。


        (二)真空泵
        機械泵油、維持泵油在使用二個月,油質會發生變化。因油可能抽入水分、雜質及其它原因,而使用油粘性變差,真空下降,故需要更換。如為新設備,在使用頭半個月即應更換,因在磨合期,油含磨合鐵粉較多,會加劇磨損。


        (三)清潔衛生
        定期將設備及其周圍環境衛生搞好,常保持設備內外清潔,將設備周圍環境整理有條,有一個好的工作環境,以保安全。

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